製品比較
VG-602 / VG-402系列
本公司标准配置（当客户不指定时）为MP-40
本公司标准配置（当客户不指定时）为DOP-80S
・ 可到达真空度的0torr为−101.3kPa
・ 真空泵的排气能力，是未装入机器时得测定值
A
标准型号
空气源：MP-40
排气速度：28L/min
通常压力：0.31 − 0.33MPa、
压力调节阀设定值
质量：8kg
产品名 |
VG-602-AH VG-402-AH VG-602-AH-10W VG-402-AH-10W |
VG-602-AD VG-402-AD VG-602-AD-10W VG-402-AD-10W |
VG-602-AE VG-402-AE VG-602-AE-10W VG-402-AE-10W |
VG-602-AG VG-402-AG VG-602-AG-10W VG-402-AG-10W |
真空源 |
DOP-80S |
G-50SA |
G-101S |
DA-60S |
真空源・ |
80L/min |
50L/min |
100L/min |
60L/min |
到达真空度 |
−96kPa |
−101.3kPa |
−101.3kPa |
−80kPa |
真空源・质量 |
7kg |
11kg |
22kg |
12kg |
B
该型号主要用于洁净间
空气源：DOA-P501-DB
排气速度：31L/min
通常压力：0.31～0.33MPa、
压力调节阀设定值
质量：7kg
产品名 |
VG-602-BH VG-402-BH VG-602-BH-10W VG-402-BH-10W |
VG-602-BD VG-402-BD VG-602-BD-10W VG-402-BD-10W |
VG-602-BE VG-402-BE VG-602-BE-10W VG-402-BE-10W |
VG-602-BG VG-402-BG VG-602-BG-10W VG-402-BG-10W |
真空源 |
DOP-80S |
G-50SA |
G-101S |
DA-60S |
真空源・ |
80L/min |
50L/min |
100L/min |
60L/min |
到达真空度 |
−96kPa |
−101.3kPa |
−101.3kPa |
−80kPa |
真空源・质量 |
7kg |
11kg |
22kg |
12kg |
C
空气源：外部供给
通常压力：0.75kW 80L/min以上、气源压力设定值：0.35MPa
需设置满足上述要求的空压机
质量：- - -
产品名 |
VG-602-CH VG-402-CH VG-602-CH-10W VG-402-CH-10W |
VG-602-CD VG-402-CD VG-602-CD-10W VG-402-CD-10W |
VG-602-CE VG-402-CE VG-602-CE-10W VG-402-CE-10W |
VG-602-CG VG-402-CG VG-602-CG-10W VG-402-CG-10W |
真空源 |
DOP-80S |
G-50SA |
G-101S |
DA-60S |
真空源・ |
80L/min |
50L/min |
100L/min |
60L/min |
到达真空度 |
−96kPa |
−101.3kPa |
−101.3kPa |
−80kPa |
真空源・质量 |
7kg |
11kg |
22kg |
12kg |